金属材料表面是否氧化或腐蚀取决于材料、热处理状态、表面状态、环境、时间等有关。高铬镍不锈钢表面形成一层致密的氧化膜，阻止了氧化反应向纵深发展即使表面没有抛光，也不明显影响测试；碳钢、铸铁、有些合金钢的表面被氧化，即使其表面没有铁锈，也会干扰检测；轻有色金属活泼易氧化，重有色金属化学稳定性好。

　　手持式光谱分析仪直接测试连续自然氧化、在低合金钢表面和有浮锈的表面，Mn含量增加，而Cr含量增加、v含量降低，对浮锈除锈后的致密锈层进行检测，Cr、Mo、v含量有显著增加的趋势；在强制氧化如正火和回火中、低合金钢会产生氧化皮，氧化皮的外表面没有Cr、v和氧化皮的内表面Cr、Mo、V、Nb含量加倍，并且样品的外表面剥离了氧化皮，Cr、Mo、v含量也明显增加。

　　根据材料的氧化或腐蚀程度以及后续的精度要求，可以选择角度抛光机、锉刀、砂布、金相）砂纸、刮刀等被加工到作为检测表面的身体上；也可以选择化学处理。金属材料表面处理到身体上后，一般会马上检测出来手工和机器加工的表面宜在一天内检测，部分合金钢留的时间较长。

　　板状、块状、带状、方管状、中等大小的圆柱和圆锥（截面）材料等容易获得并且可以完全覆盖测量窗口（和接触窗口）测试表面，然后得到最好的测试结果，测试圆管（柱）状、对于锥形管等材料，轴向测试优于切向测试，当直径大于11 mm时，两个方向的测试结果基本一致（当直径在12和63 mm之间时，在接触窗的切线方向上没有感应）检测小规格柱状、对于管状和丝状材料，适当延长测试时间，用固定样品进行校正，有利于提高准确度。

　　轻元素的特征x射线能量低、荧光产额低，容易被空气吸收它的检测要求高HXRFS和样品表面，虽然它在提高轻元素检测结果的准确性、精度上还有提高的空间，但测试结果基本令人满意。

　　手持式光谱分析仪的硬件技术、通过分析软件技术和应用技术的进步，对HXRFS进行了废物分类、混料排查、批量抽查、产品筛查与普查、金属材料品牌的定性识别等、半定量分析阶段，逐步进入定量分析时代。